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磁悬浮涡轮分子泵

W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵

W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型应用- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺- 进样室,转移室- 粒子加速器- 科研- 镀膜系统技术特点- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统- 轴承系统的数字监控- 噪声和振动低- 任意方向安装- 先进的转子设计,实现高抽速和高前级耐压- 智能电源控制系统- CT版集成温度管理系统(TMS)- C版耐腐蚀客户得益- 免...

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TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型应用

- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室,转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统


技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 先进的转子设计,实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统(TMS)

- C版耐腐蚀


客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低,抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量较轻,尺寸较小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物

(CT版)

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统


更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 先进的转子设计,实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统(TMS)

- C版耐腐蚀


客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低,抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量轻,尺寸小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物

(CT版)

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统

更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


典型应用

- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室,转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统


更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com



技术参数


TURBOVAC MAG



W 2800 C

W 2800 CT W   2800

W 3200 CT

进气口

DN

250 ISO-F


250 ISO-F

250 CF


320 ISO-F

PNEUROP的抽速








氮气

I x s-1

2650


2650

2650


3200

氩气

I x s-1

2450


2450

2450


3000

氦气

I x s-1

2650


2650

2650


3000

氢气

I x s-1

2100


2100

2100


2250

额定转速

min-1

28 800


28 800

28 800


28 800

压缩比








氮气


1 x 108


1 x 108

1 x 109


1 x 108

极限压强,根据 DIN 28 400

mbar

< 10-8


< 10-8

< 1 x 10-10


< 10-8


(Torr)

(< 0 75 x 10-8)


(< 0 75 x 10-8)

(< 0 75 x 10-10)


(< 0 75 x 10-8)

前级耐压(对氮气)对流冷却时 水冷却时

mbar (Torr)mbar (Torr)

   2 0 (1 5)


   2 0 (1 5)

0 3 (0 23) 3 0 (2 3) 


   2 0 (1 5)

推荐的前级泵








抽速达100 m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS


TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS


TRIVAC D 65 BCS

启动时间

min

< 10


< 10

< 10


< 10

出气口外形尺寸

DN

40 ISO-KF


40 ISO-KF

40 ISO-KF


40 ISO-KF

吹扫和破空口


1/4" VCR


1/4" VCR

DN 10/16


1/4" VCR

冷却水接口

Swagelok tube

1/4"


1/4"

1/4"


1/4"

重量(近似)

kg (lbs)

64 (141 3)


64 (141 3)

75 (165 6)


65 (143 5)

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订货信息11.jpg

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