Leybold

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产品/Leybold

磁悬浮涡轮分子泵

W1700 TURBOVAC MAG INTEGRA集成磁悬浮复合分子泵

W1700 TURBOVAC MAG INTEGRA集成磁悬浮复合分子泵

典型应用- PVD镀膜系统- 建筑玻璃镀膜- 光学镀膜- 液晶显示器- 平板显示- 科研- 分析领域技术特点- 任意方向安装- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF高真空接口- DN 40 KF前级真空接口- 保护气/破空接口DN 16 KF(卡簧式)MAG INTEGRA 系列产品MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵- 水冷- CE和RoHS认证:满足UL要求- 防护等级IP 54- 两个工业通信模块卡接口- RS 232,维护接口- 可以安装其它接口:Profibu...

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典型应用

- PVD镀膜系统

- 建筑玻璃镀膜

- 光学镀膜

- 液晶显示器

- 平板显示

- 科研

- 分析领域


技术特点

- 任意方向安装

- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 KF(卡簧

式)

MAG INTEGRA 系列产品

MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS认证:满足UL要求

- 防护等级IP 54

- 两个工业通信模块卡接口

- RS 232,维护接口

- 可以安装其它接口:Profibus、RS

485 C,9针24 V SPS


客户得益

- 抽速和气载量较高

- 可靠、耐用

- 免维护

- 适合用于分析、薄膜技术、电子显

微镜、科研领域等对振动敏感的应

用场合

- 由于采用模块化设计具有灵活性,

变频器可以安装在一侧或下面

更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


技术特点

- 任意方向安装

- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 KF(卡簧

式)

MAG INTEGRA 系列产品

MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS认证:满足UL要求

- 防护等级IP 54

- 两个工业通信模块卡接口

- RS 232,维护接口

- 可以安装其它接口:Profibus、RS

485 C,9针24 V SPS


客户得益

- 抽速和气载量高

- 可靠、耐用

- 免维护

- 适合用于分析、薄膜技术、电子显

微镜、科研领域等对振动敏感的应

用场合

- 由于采用模块化设计具有灵活性,

变频器可以安装在一侧或下面

更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com



典型应用

- PVD镀膜系统

- 建筑玻璃镀膜

- 光学镀膜

- 液晶显示器

- 平板显示

- 科研

- 分析领域

更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


   技术参数                                                                             TURBOVAC MAG INTEGRA W

                                                                                         1700 iP(L)                2200/2201 iP(L)             

进气口法兰

DN

250 ISO-F

250 ISO-F



250 CF

250 CF

抽速




氮气

I x s-1

1610

2100

氩气

I x s-1

1480

1900

氦气

I x s-1

1710

2050

氢气

I x s-1

1660

1750

转速

min-1

33 000

30 600/30000

可调待机转速

min-1

13 800 (230 Hz)

13 800 (230 Hz)

压缩比




氮气


> 108

> 108

氩气


> 108

> 108

氢气,1 sccm


2 0 x 105

5 x 104/5 x 103

氦气,1 sccm


4 0 x 103

5 x 103/5 x 102

气载量




氮气,短暂,例如抽出中





mbar x I x s-1

30

30/50

氮气,连续使用





mbar x I x s-1

20

17/36

氩气,短暂,例如抽出中





mbar x I x s-1

20

20/30

氩气,连续使用





mbar x I x s-1

15

12/24

极限压强




ISO-F法兰

mbar

< 10-8

< 10-8

CF法兰

mbar

< 10-10

< 10-10

高除气温度

°C

80

80

前级耐压




氮气

mbar

4

2 5/1 2

氩气

mbar

0 6

2 5/1 2

推荐的前级泵

TRIVAC B或干泵


加速时间

min

< 7

<10

前级管道法兰

DN

40 KF

40 KF

吹扫/破空端口(夹链式)  

DN

16 KF

16 KF

水冷接口尺寸

G

1/8"

1/8"

重量

kg

45

50

执行ISO 3744标准的噪声级

dB(A)

< 41

< 41

速度时高真空法兰处的振动值

μm

0 01

0 01

更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


订货信息3.jpg

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