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磁悬浮涡轮分子泵

W2000C/2000CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵

W2000C/2000CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型应用- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺- 进样室,转移室- 粒子加速器- 科研- 镀膜系统技术特点- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统- 轴承系统的数字监控- 噪声和振动低- 任意方向安装- 先进的转子设计,实现高抽速和高前级耐压- 智能电源控制系统- CT版集成温度管理系统(TMS)- C版耐腐蚀客户得益- 免...

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TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型应用

- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室,转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统


技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 先进的转子设计,实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统(TMS)

- C版耐腐蚀


客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低,抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量较轻,尺寸较小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物

(CT版)

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统


更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 先进的转子设计,实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统(TMS)

- C版耐腐蚀


客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低,抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量轻,尺寸小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物

(CT版)

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统

更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


典型应用

- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室,转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统


更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


技术参数

TURBOVAC MAG



W 2200 C/CT

W 2200

进气口

DN

200 ISO-F

250 ISO-F


250 CF

PNEUROP的抽速氮气 氩气 氦气 氢气

I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1

1600 1450 1780 1720

2000 1900 1980 1930


1800 1700 1980 1930

额定转速

min-1

29 400

29 400


29 400

压缩比氮气


> 1 x 108

> 1 x 108


1 x 108

极限压强,根据 DIN 28 400

mbar (Torr)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10)

前级耐压(对氮气)对流冷却时 水冷却时

mbar (Torr)mbar (Torr)

   2 (1 5)

   2 (1 5)

0 1 (0 075) 1 (0 75)

推荐的前级泵抽速达100m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

启动时间达95%名义转度时

min

< 8

< 8

< 8

出气口外形尺寸

DN

40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

吹扫和破空口


1/4" VCR

1/4" VCR

DN 10/16

冷却水接口(管道外径)


1/2"

1/2"

Swagelok1/4"  

重量(近似)

kg (lbs)

48 (106)

48 (106)

60 (132)



更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com


订货信息11.jpg


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