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PENNINGVAC 变送器  真空计  PTR 90 N

PENNINGVAC 变送器 真空计 PTR 90 N

说明  PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空变送器可提供从 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的较大测量范围,基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和冷阴极 (CC) 电离电流的测量结果。   配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 230088V02) 或 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230089...

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说明 

 

PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空变送器可提供从 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的较大测量范围,基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和冷阴极 (CC) 电离电流的测量结果。  

 

配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 230088V02)  EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230089V02) 的变送器版本可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。更多详情,请参阅通信协议 300544663 (RS232)  300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 2300085V02) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情,请参阅第 6.4 章。 

 

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在指定操作温度范围内逐一得到温度补偿。 

 

这些变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01230681V01230682V01)  Display 控制器 (P/N: 230001230024230025)。所有 PENNINGVAC 变送器均可向下兼容 GraphixDisplay  Center 控制器。 

 

变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,获取压力读数,或进行压力控制。 

 

传感器技术 

变送器含有两个独立的传感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状,空腔内无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在此处可测量气体的热损耗。 

 

冷阴极反磁控管采用高电压阳极、阴极和永磁体。电子向阳极加速,并将通过碰撞而使分子离子化。磁场使电子偏转,从而使电子在穿过磁场前往阳极时做螺旋形移动。这种螺旋运动增大了电子遇到分子并使分子离子化的机会。 

分子离子化产生电流,该电流是压力的函数。这两个传感器元件均极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。 

 



更多信息请联系莱宝官方授权:安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com

应用 

变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如:工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 一般真空压力测量  

· 气体回填测量和控制 

· 涂料  

· 质谱仪控制 

· 系统过程控制 

· 检测异常压力,利用设定点继电器采取妥当的安全措施 

· 控制系统压力 


测量原理:

依据 MEMS Pirani 传感器的热传导性 



冷阴极离子化电流 






测量范围 (N2 和空气):  

1×10-8  1000 毫巴 







精确度 (1) (N2):  

1×10-8  1x10-3 毫巴 (CC):

误差是读数的 ±30%



1×10-4  1x10-3 毫巴 (MP):

误差是读数的 ±10%



1×10-3  100 毫巴 (MP):

误差是读数的 ±5%



100  1000 毫巴 (MP):

误差是读数的 ±25%


重复性 (1) (N2):

1×10-3  100 毫巴:

误差是读数的 ±2%






电源电压:

9-30 伏直流 



功耗:

< 2  



熔丝 (热可恢复):

200 毫安 



模拟输出 (100 欧阻抗):

2-8.6 伏直流,Log. 0.6 伏直流/十进制 



模拟输出分辨率:

16   



模拟输出更新率:

16 赫兹 



传感器故障模拟输出 (Pirani):

10 伏直流 







材料暴露于真空 (2):  

304 号不锈钢、密封材料 FPM






机械设定点继电器:




P/N: 230070V02230071V02230072V02230085V02:

0



P/N: 230088V02:

3



设定点继电器范围:

1×10-8  1000 毫巴 



设定点继电器触点额定值:

1 /30 伏直流/交流 (电阻性负载)



设定点继电器触点电阻:

100 毫欧 (最大值)  



设定点继电器响应时间:

<100 毫秒 



设定点继电器触点耐久性:

100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载)



设定点继电器触点耐久性:  

2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载)







软件设定点继电器:




P/N: 230089V02:

2



设定点继电器响应时间:

< 20 毫秒 







内部容积:

KF25

28.6 厘米3 


KF40

21.7 厘米3 



CF46

32.7 厘米3 







外壳材质:

304 号不锈钢 







重量:




P/N: 230070V02230088V02:

321  



P/N: 230089V02:

600  



P/N: 230085V02:

550  



P/N: 230071V02:

358  



P/N: 230072V02:

576  







最大允许压力:

6   



运行温度:

0  40 °C (32  104 °F)



烘烤温度 (电源关闭):

85 °C (185 °F)



灯丝温度:

超过室温 35 °C



异物防护等级:

IP40



泄漏速率:

< 50-9 毫巴/ 





零件 

 

产品号 

PTR 90 NDN25 KF

230070V02

PTR 90 NDN25 KFDisplay

230085V02

PTR 90 NDN40 KF

230071V02

PTR 90 NDN40 CF

230072V02

PTR 90 NDN25 KFRS2323SP

230088V02

PTR 90 NDN25 KFEtherCAT

230089V02

阴极替换片 PTR 90 N / PTR225 N* 

EK16291V02

阳极替换环 PTR 90 N / PTR 225 N** 

20028711V02



Display 1  

230001

Display 2

230024

Display 3

230025



Graphix 1

230680V01

Graphix 2  

230681V01

Graphix 3  

230682V01



A 型电缆,5  

12426

A 型电缆,10  

230012

A 型电缆,15  

12427

A 型电缆,20  

12428

A 型电缆,30  

12429

A 型电缆,50  

12431

A 型电缆,75  

12432

A 型电缆,100  

12433



螺旋管 DN 25 ISO-KF

230083

螺旋管 DN 40 ISO-KF

230084



定心环 (1.4305 号不锈钢),含 O 型环 

88374

定心环 (不锈钢),含烧结金属过滤器 

88352

卡环 ()

210043

隔板,含定心环 (FPM)

230078




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